Imec trình làng công nghệ chế tạo các lỗ nano thể rắn đầu tiên trên tấm wafer sử dụng phương pháp quang khắc EUV

Một bước đột phá cho phép đưa các ứng dụng của cảm biến sinh học có khả năng mở rộng và có độ chính xác cao vào khoa học sự sống và chăm sóc sức khỏe LEUVEN, Bỉ, ngày 9...